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陶瓷加工,精密陶瓷,多孔陶瓷,應用: AlN氮化鋁,Al₂O₃氧化鋁,ZrO₂氧化鋯,SiC碳化矽,Si₃N₄氮化矽

子申應材陶瓷加工產品系列主要應用於耐磨損、耐腐蝕、耐高溫、耐電漿衝擊、高純度,高導熱,散熱,低汙染,嚴苛要求之使用場合。客戶端應用為晶圓,半導體,封裝測試,LED,太陽能,LCD,TP,光電產業之晶圓載盤,載具,傳動元件及設備耗材。Ex:MOCVD, MOPVD, CMP, Etching, Thin film,黃光, 顯影,封裝測試,RTP快速升溫退火,等製程應用。

各式精密陶瓷加工,多孔陶瓷,材質: Aluminum Nitride,氮化鋁 ,Aluminum Oxide,氧化鋁 , Silicon Carbide,碳化矽 ,Zirconia,氧化鋯 ,Silicon Nitride,氮化矽


  • AlN Subatrate ,AlN Layer ,AlN Nozzle ,氮化鋁陶瓷基板,載盤,噴嘴
    標準尺寸:4.5 x 4.5", 4 x 4", 3 x 3", 2 x 2", 4" ,6",8" wafer type
    厚度:2.0,1.0, 0.635, 0.5, 0.38, 0.25mm

  • SiC Substrate for Diamond Disk
    碳化矽陶瓷研磨環,RTP快速升溫退火爐用,多孔陶瓷

  • SiC AlN Holder,Grinding plate
    氮化鋁陶瓷墊片,氮化鋁絕緣片

  • SiC Al₂O₃, Al₂O₃
    氧化鋁發泡隔熱耐火材
    比重0.8~1.6供客戶選擇,高純度輕量化

  • SiC ZrO₂,Bonding stage
    氧化鋯封裝測試載台

  • SiC MOCVD, MOPVD, Components
    各式陶瓷精密件

軸承常用材質基本性能

性能 單位 GCr15(軸承鋼) 9Cr18(不銹鋼) Si₃N₄(氮化矽) ZrO₂(氧化鋯) SiC(碳化矽) Al₂O₃(氧化鋁) AlN氮化鋁 BN(氧化硼) Glass(玻璃)
密度 g/cm³ 7.8 7.9 3.3 6 3.2 3.9 3.2 2 2.5
熱膨脹 10-⁶ /℃ 11 17 2.3 6 3.2 3.9 3.2 2 2.5
彈性模量 GPa 208 200 370 200 410 370 340 62 70
泊松比 (Poission's ratio) 0.3 0.3 0.24 0.23 0.19 0.26 0.25 0.13 0.2
硬度 (Kgf/mm²) 1300 1200 1500 1400 2300 1600 1200 200 1000
抗拉強度 MPa 2400 2600 524 700 400 262 400 41 0
抗壓強度 MPa 9000 7800 2500 1850 3900 2600 2070 143 1100
破裂韌性 (MPa·m*m0.5) 13.5 14 7.7 9.5 4.6 3.6 2.6 - 1
熱導率 W/mK 30-40 15 27 2.5 126 28 170 30 1.5
比熱 J/KgK 450 450 800 400 700 880 730 1850 740
使用溫度 120 150 1000 800 1200 1400 1800 1150 85
耐腐蝕  
磁性  
尺寸穩定性  
絕緣性   不絕緣 不絕緣

Si₃N₄ Data Sheet,氮化矽特性表

Characteristic Values

Item   Unit Si₃N₄
color - - Gray
Bulk density - g/cm³ 3.22
Surface roughness Ra - 0.4
Mechanical Bending strength 3-point method MPa 800
Modulus of elasticity - GPa 310
Vickers hardness - GPa 15
Fracture toughness IF method MPa∙√m 6.5
Thermal Coefficient of thermal expansion 40-400℃ 10⁻⁶/K 2.6
40-800℃ 3.1
Thermal conductivity 25℃ W/(m∙K) 85
300℃ -
Specific heat 25℃ J/(kg∙K) 680
  Dieletric constant 1MHz - 7.8
Dieletric loss factor 1MHz 10⁻³ 0.4
Volume resistivity 25℃ Ω∙cm >10¹⁴
Breakdown strength DC kV/mm >15

General Dimenslon

Item Unit Specification
Standard Size inch 5.5"x7.5"
Tolerance ±1.0% NLT:±0.1mm
Thickness mm 0.25~0.635
Tolerance ±1.0% NLT:±0.04mm
Warpage mm 0.002/mm

AlN Data Sheet,氮化鋁特性表

性能內容 Property Content 性能參數 Property Index
體積密度 Density (kg/m³) ≧3.20
吸水率 Water absorption % 0
線膨脹係數 Linear expansion coefficient (RT-500℃)(10⁻⁶mm/℃) 4.4
體機電阻率 Bulk resistivity(Ω∙m) ≧10¹⁴
介電常數 Dielectiric constant[1MHz] 9.0
介質損耗 Dissipation factor[1MHz] 3x10⁻⁴
抗電強度 Dielectiric strength(KV/mm) 15
抗彎強度 Flexural strength(MPa) ≧330
楊氏模數 Yang's Modulus(GPa) 310~320
熱導率 Thermal conductivity[20℃ W/m∙k] >180
莫氏硬度 Mohs hardness 8
表面粗糙度 Surface finish Ra(㎛) 0.1~0.5
翹曲度 Camber(~25/length) 0.03~0.04
熔點 Melting point(℃) 2500℃
顏色 Color 灰白
外觀 Appearance 緻密、細晶

接受各式尺寸訂製,歡迎洽詢。Mail:sales@chosen.tw

ESD Al₂O₃ Data Sheet,抗靜電氧化鋁特性表

抗靜電陶瓷物理特性表
Characteristic Values
ITEM UNIT DATA
Al₂O₃ % 80
SiO₂ % 2.6
Na₂O % 3.6
lg-loss % 1.4
Apperance   Black
Fired Density 1.0 ton/cm² 3.58
Modulus of Elasticity GPa 340
Flexural Strengh MPa 280
Volume resistivity Ω∙cm 10⁶⁻⁹

 

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