陶瓷加工系列 ~~AlN氮化鋁，Al₂O₃氧化鋁，ZrO₂氧化鋯，SiC碳化矽，Si₃N₄氮化矽

子申應材陶瓷加工產品系列主要應用於耐磨損、耐腐蝕、耐高溫、耐電漿衝擊、高純度，高導熱，散熱，低汙染，嚴苛要求之使用場合。客戶端應用為晶圓，半導體，封裝測試，ＬＥＤ，太陽能，LCD，TP，光電產業之晶圓載盤，載具，傳動元件及設備耗材。Ex:MOCVD， MOPVD， CMP， Etching， Thin film，黃光，顯影，封裝測試等製程。

各式陶瓷加工材質: Aluminum Nitride，氮化鋁，Aluminum Oxide，氧化鋁， Silicon Carbide，碳化矽，Zirconia，氧化鋯，Silicon Nitride，氮化矽。

AlN Subatrate ，AlN Layer ，AlN Nozzle，氮化鋁陶瓷基板，載盤，噴嘴標準尺寸:4.5 x 4.5", 4 x 4", 3 x 3", 2 x 2", 4" ，6"，8" wafer type，厚度:2.0,1.0, 0.635, 0.5, 0.38, 0.25mm

SiC Substrate for Diamond Disk，碳化矽陶瓷研磨環

SiC AlN Holder，Grinding plate，氮化鋁陶瓷墊片，氮化鋁絕緣片

SiC Al₂O₃，氧化鋁發泡隔熱耐火材:比重0.8~1.6供客戶選擇,高純度輕量化

SiC ZrO₂，Bonding stage，氧化鋯封裝測試載台

SiC MOCVD，MOPVD，Components，各式陶瓷精密件

軸承常用材質基本性能

性能	單位	GCr15(軸承鋼)	9Cr18(不銹鋼)	Si₃N₄(氮化矽)	ZrO₂(氧化鋯)	SiC(碳化矽)	Al₂O₃(氧化鋁)	AlN氮化鋁	BN(氧化硼)	Glass(玻璃)
密度	g/cm³	7.8	7.9	3.3	6	3.2	3.9	3.2	2	2.5
熱膨脹	10-⁶ /℃	11	17	2.3	6	3.2	3.9	3.2	2	2.5
彈性模量	GPa	208	200	370	200	410	370	340	62	70
泊松比	(Poission's ratio)	0.3	0.3	0.24	0.23	0.19	0.26	0.25	0.13	0.2
硬度	(Kgf/mm²)	1300	1200	1500	1400	2300	1600	1200	200	1000
抗拉強度	MPa	2400	2600	524	700	400	262	400	41	0
抗壓強度	MPa	9000	7800	2500	1850	3900	2600	2070	143	1100
破裂韌性	(MPa·m*m^0.5)	13.5	14	7.7	9.5	4.6	3.6	2.6	-	1
熱導率	W/mK	30-40	15	27	2.5	126	28	170	30	1.5
比熱	J/KgK	450	450	800	400	700	880	730	1850	740
使用溫度	℃	120	150	1000	800	1200	1400	1800	1150	85
耐腐蝕		無	弱	強	強	強	強	強	強	強
磁性		有	有	無	無	無	無	無	無	無
尺寸穩定性		差	差	好	好	好	好	好	好	好
絕緣性		不絕緣	不絕緣	好	好	好	好	好	好	好

Si₃N₄ Data Sheet，氮化矽特性表

Characteristic Values

Item			Unit	Si₃N₄
color		-	-	Gray
Bulk density		-	g/cm³	3.22
Surface roughness Ra		-	㎛	0.4
Mechanical	Bending strength	3-point method	MPa	800
	Modulus of elasticity	-	GPa	310
	Vickers hardness	-	GPa	15
	Fracture toughness	IF method	MPa∙√m	6.5
Thermal	Coefficient of thermal expansion	40-400℃	10⁻⁶/K	2.6
	Coefficient of thermal expansion	40-800℃	10⁻⁶/K	3.1
	Thermal conductivity	25℃	W/(m∙K)	85
	Thermal conductivity	300℃	W/(m∙K)	-
	Specific heat	25℃	J/(kg∙K)	680
	Dieletric constant	1MHz	-	7.8
	Dieletric loss factor	1MHz	10⁻³	0.4
	Volume resistivity	25℃	Ω∙cm	>10¹⁴
	Breakdown strength	DC	kV/mm	>15

General Dimenslon

Item	Unit	Specification
Standard Size	inch	5.5"x7.5"
Standard Size	Tolerance	±1.0% NLT:±0.1mm
Thickness	mm	0.25~0.635
Thickness	Tolerance	±1.0% NLT:±0.04mm
Warpage	mm	0.002/mm

AlN Data Sheet，氮化鋁特性表

性能內容 Property Content	性能參數 Property Index
體積密度 Density (kg/m³)	≧3.20
吸水率 Water absorption %	0
線膨脹係數 Linear expansion coefficient (RT-500℃)(10⁻⁶mm/℃)	4.4
體機電阻率 Bulk resistivity(Ω∙m)	≧10¹⁴
介電常數 Dielectiric constant[1MHz]	9.0
介質損耗 Dissipation factor[1MHz]	3x10⁻⁴
抗電強度 Dielectiric strength(KV/mm)	15
抗彎強度 Flexural strength(MPa)	≧330
楊氏模數 Yang's Modulus(GPa)	310~320
熱導率 Thermal conductivity[20℃ W/m∙k]	>180
莫氏硬度 Mohs hardness	8
表面粗糙度 Surface finish Ra(㎛)	0.1~0.5
翹曲度 Camber(~25/length)	0.03~0.04
熔點 Melting point(℃)	2500℃
顏色 Color	灰白
外觀 Appearance	緻密、細晶

接受各式尺寸訂製，歡迎洽詢。Mail:sales@chosen.tw

ESD Al₂O₃ Data Sheet，抗靜電氧化鋁特性表

抗靜電陶瓷物理特性表 Characteristic Values
ITEM	UNIT	DATA
Al₂O₃	%	80
SiO₂	%	2.6
Na₂O	%	3.6
lg-loss	%	1.4
Apperance		Black
Fired Density	1.0 ton/cm²	3.58
Modulus of Elasticity	GPa	340
Flexural Strengh	MPa	280
Volume resistivity	Ω∙cm	10⁶⁻⁹